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一种离轴光路三维显微形貌测量系统技术方案
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文档序号:19814522
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本发明的一种离轴光路三维显微形貌测量系统,包括:成像物镜、干涉装置和图像采集装置。干涉装置包括激光光源、分光棱镜、第一反光镜、第二反光镜、微调反光镜和参考物镜。激光光束经第一反光镜射入分光棱镜后输出两束光,第一束光经成像物镜射到样品上,反射...
该专利属于东北大学所有,仅供学习研究参考,未经过东北大学授权不得商用。
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