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本发明公开了一种用于大口径光学薄膜元件制备的真空镀膜机，属于薄膜光学领域，与常规真空镀膜机相比，除了装配真空模块、蒸发源模块、薄膜厚度/速度监控模块和温度控制模块以外，还配置了特殊设计的行星旋转夹具模块，其特征在于行星旋转夹具的公转半径可调...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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