下载利用液态金属抛光液进行大平面抛光的装置的技术资料

文档序号:19788022

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本实用新型公开了利用液态金属抛光液进行大平面抛光的装置,包括工件、磨盘、负电极、主轴、电机、喷头、液态金属输送管、液态金属泵、回收孔、正电极、电热丝、抛光槽和工作平台,所述正电极安装在工作平台内;所述磨盘安装在正电极上方的工作平台上,工件安...
该专利属于浙江工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江工业大学授权不得商用。

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