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描述了一种用以于处理系统的真空腔室中导引多条供应接线的供应接线导件(100)。供应接线导件包括导引布置(110)，导引布置(110)包括多个连接元件(115)，其中这些连接元件(115)相对于彼此可调整角度。再者，供应接线导件包括围绕导引布...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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