用于真空处理系统的供应接线导件技术方案

描述了一种用以于处理系统的真空腔室中导引多条供应接线的供应接线导件(100)。供应接线导件包括导引布置(110)，导引布置(110)包括多个连接元件(115)，其中这些连接元件(115)相对于彼此可调整角度。再者，供应接线导件包括围绕导引布置(110)设置的柔性管(120)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于真空处理系统的供应接线导件
本公开内容各个实施方式涉及用于导引供应接线通过真空环境的供应接线导件(supplylineguide)。具体地，本公开内容的各个实施方式涉及柔性供应接线导件，被配置用于从大气环境导引供应接线通过处理系统的真空腔室至可移动处理装置，具体是经配置用于OLED制造的材料沉积源。
技术介绍
有机蒸发器为用于制造有机发光二极管(OLED)的工具。OLED为发光二极管的一种特别的形式。在OLED中，发光层包括特定的有机化合物的薄膜。有机发光二极管(OLED)用于制造电视屏幕、计算机显示器(computermonitor)、移动电话、用于显示信息的其他手持装置等。OLED亦可用于一般的空间照明。OLED显示器的可行的颜色、亮度、及视角的范围大于传统的LCD显示器的可行的颜色、亮度、及视角的范围，因为OLED像素直接地发光且不包含背光。因此，相较于传统的LCD显示器的能量损耗，OLED显示器的能量损耗相当地少。再者，OLED可制造于柔性基板上的事实产生进一步的应用。在制造此种显示装置中遇到了许多挑战。具体地，其中一个挑战是在具有持续和可靠供应的介质和功率的情况下，在真本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种供应接线导件(100)，用以于处理系统的真空腔室中导引多条供应接线，所述供应接线导件包括：导引布置(110)，包括多个连接元件(115)，其中所述连接元件(115)相对于彼此可调整角度；和柔性管(120)，围绕所述导引布置(110)设置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种供应接线导件(100)，用以于处理系统的真空腔室中导引多条供应接线，所述供应接线导件包括：导引布置(110)，包括多个连接元件(115)，其中所述连接元件(115)相对于彼此可调整角度；和柔性管(120)，围绕所述导引布置(110)设置。2.根据权利要求1所述的供应接线导件(100)，其中所述柔性管(120)提供一弯曲半径Rb，Rb≤500mm。3.根据权利要求1或2所述的供应接线导件(100)，其中所述柔性管(120)包括金属或金属合金。4.根据权利要求1至3中任一项所述的供应接线导件(100)，其中所述导引布置(110)包括第一导管(111)和第二导管(112)，所述第一导管(110)用于导引第一组供应接线(130A)，所述第二导管(112)用于导引第二组供应接线(130B)。5.根据权利要求4所述的供应接线导件(100)，其中所述导引布置(110)包括分离元件(118)，所述分离元件(118)将所述第一导管(111)的第一体积与所述第二导管(112)的第二体积分离。6.根据权利要求1至5中任一项所述的供应接线导件(100)，其中所述导引布置(110)包括第三导管(113)，用于导引第三组供应接线(130C)。7.根据权利要求6所述的供应接线导件(100)，其中所述导引布置(110)包括分离元件(118)，所述分离元件(118)使第一导管(111)的第一体积、第二导管(112)的第二体积和第三导管的第三体积彼此分离。8.根据权利要求1至7中任一项所述的供应接线导件(100)，其中所述导引布置(110)的第一端(110A)连接至所述柔性管(120)的第一端(120A)，并且其中所述导引布置(110)的第二端(110B)连接至所述柔性管(120)的第二端(120B)。9.根据权利要求1至8中任一项所述的供应接线导件(100)，其中所述多个连接元件的起始元件的位置相对于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：安德烈·布鲁宁，安德烈亚斯·索尔，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US