下载电容介质结构、电容器阵列结构及制备方法的技术资料

文档序号:19781940

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本发明提供了一种电容介质结构、电容器阵列结构及制备方法。本发明提供的电容介质结构通过引入高介电常数材料及低漏电材料,获得了相比现有技术具有更优的高电容值与低漏电性能的电容介质结构。本发明还提供了一种电容介质结构电容器阵列结构及其制备方法,基...
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