下载晶片的分割方法和分割装置的技术资料

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提供晶片的分割方法和分割装置,适当地维持芯片彼此的间隔。沿着分割预定线在分割起点对晶片进行分割而在相邻的芯片之间形成规定的间隙。接着,在利用工作台对带的粘贴有晶片的区域进行吸引保持之后,使工作台与环状框架保持部在进一步远离的方向上移动而对晶...
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