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本发明涉及一种低温制备ZrO2绝缘层薄膜及叠层结构，所述薄膜的制备步骤如下：将醋酸锆溶于乙二醇单甲醚中，加入乙醇胺，搅拌后静置老化，得到醋酸锆浓度为0.3～0.6mol/L的前驱体溶液；所述乙醇胺的体积占所述前驱体溶液总体积的1/6；然后在...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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