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一种晶圆末端执行器防碰撞装置，它包括晶圆末端执行器、微型激光测量头、控制器。所述晶圆末端执行器安装固定在机械手臂的末端，用作承载晶圆；所述微型激光测量头安装固定在晶圆末端执行器的末端，并通过光纤连接到控制器；所述控制器通过微型激光测量头发射...
该专利属于上海陛通半导体能源科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海陛通半导体能源科技股份有限公司授权不得商用。

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