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本发明提供一种基于SOI CMOS的电子器件、制备方法以及剥离方法,基于SOI CMOS的电子器件上设有多个剥离槽,所述剥离槽贯穿所述基于SOI CMOS的电子器件,不仅便于基于SOI CMOS的电子器件的制造,而且在减少弯折时的应力,防止...该专利属于中国电子科技集团公司第二十四研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第二十四研究所授权不得商用。
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本发明提供一种基于SOI CMOS的电子器件、制备方法以及剥离方法,基于SOI CMOS的电子器件上设有多个剥离槽,所述剥离槽贯穿所述基于SOI CMOS的电子器件,不仅便于基于SOI CMOS的电子器件的制造,而且在减少弯折时的应力,防止...