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一种柔性基片衬底的异质结构器件，属于电子器件技术领域。该器件从下到上依次包括聚酰亚胺柔性衬底层、第一导电薄膜层、Ga2O3材料层、VO2材料层、第二导电薄膜层及抗腐蚀保护层。本发明采用聚酰亚胺(PI)材料作为衬底基片，采用Ga2O3作为缓冲...
该专利属于沈阳工程学院所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳工程学院授权不得商用。

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