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本实用新型公开了一种抛光盘清洗装置，抛光盘清洗装置适于设于化学机械抛光机的工作平台上，工作平台上还设有抛光盘，抛光盘清洗装置包括：固定座，固定座固定于工作平台上；喷臂，喷臂的一端与固定座相连，喷臂的另一端延伸至抛光盘的上方，喷臂内限定出沿其...
该专利属于清华大学;天津华海清科机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学;天津华海清科机电科技有限公司授权不得商用。

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