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可降低导通电阻提高运行可靠性的GaN HEMT器件制造技术
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下载可降低导通电阻提高运行可靠性的GaN HEMT器件的技术资料
文档序号:19597687
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本实用新型公开一种可降低导通电阻提高运行可靠性的GaN HEMT器件,与现有技术不同的是InxAlyGa1‑x‑yN势垒层由矩阵排列的多个环组成,环的外侧是覆盖于沟道层上的源电极,环的内侧是覆盖于沟道层上的漏电极,在InxAlyGa1‑x‑...
该专利属于大连芯冠科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大连芯冠科技有限公司授权不得商用。
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