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一种真空微电子器件技术领域的单孔可控场发射装置，包括：阴极阵列、硅微通道板、镍层、纵向异质结构薄膜和阳极，其中，阴极阵列和阳极相对设置，硅微通道板相对于阴极竖向设置且孔内覆盖有镍层，镍层与阴极阵列连接并覆盖有纵向异质结构薄膜；所述阴极阵列中...
该专利属于常熟理工学院所有，仅供学习研究参考，未经过常熟理工学院授权不得商用。

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