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本申请公开了一种硅基太阳能电池及其制备方法，该太阳能电池包括：硅衬底，在硅衬底的正面形成有PN结；在PN结的上方依次形成有隧穿层、石墨烯层、重掺非晶硅层、减反射层和正面电极；正面电极穿透减反射层与重掺非晶硅层直接接触；在硅衬底的背面形成有背...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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