下载三维存储器的技术资料

文档序号:19596121

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本发明涉及一种三维存储器,所述三维存储器包括:存储堆叠结构,所述存储堆叠结构包括交替堆叠的控制栅极和绝缘层;沟道孔结构,贯穿所述存储堆叠结构;所述控制栅极的宽度小于绝缘层的宽度,使得相邻绝缘层之间具有凹槽,部分所述沟道孔结构位于所述凹槽内。...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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