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本发明提供一种镀膜系统及基板处理方法。镀膜系统包括镀膜腔室、基板承载装置、抽气装置及清洁装置；基板承载装置位于镀膜腔室内，用于承载基板；抽气装置与镀膜腔室相连通，以对镀膜腔室进行抽气操作；清洁装置用于在大气状态下于基板表面形成负压以对基板表...
该专利属于奕瑞影像科技（太仓）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过奕瑞影像科技（太仓）有限公司授权不得商用。

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