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本发明提出了一种晶圆翘曲程度的测量装置和方法，属于晶圆检测技术领域。所述测量装置包括探针组，包括分别位于晶圆上方的上表面探针以及位于晶圆下方的下表面探针，用于以与晶圆的基准面平行的移动方向沿着晶圆的直径对晶圆的上下表面进行移动扫描；承载机构...
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