下载一种减少图像传感器污点的方法的技术资料

文档序号:19483915

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本发明涉及一种减少图像传感器污点的方法,包括以下步骤:提供衬底,包括像素区和逻辑区;在像素区CMOS的源漏极进行第一次离子注入;在像素区进行第二次离子注入,所述第二次离子注入包括注入碳氢化合物。图像传感器芯片像素区的白色像素点处存在金属杂质...
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