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本发明提供一种能优化受力时的形变状态从而改善被研磨物边缘膜厚的移除率过低问题的研磨头、具备该研磨头的研磨系统、以及利用该研磨头进行研磨的方法。研磨头包括：研磨头主体，该研磨头主体中设有用于提供气体压力的气体通道，所述气体通道贯穿所述研磨头主...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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