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一种夹具系统以及固定靶材组件的方法,其中方法包括:提供靶材组件;提供夹具系统,夹具系统包括:基底,基底包括核心区域和核心区域周围的边缘区域;固定于边缘区域的自动压板夹;自动压板夹包括:压杆,压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端;固定于边缘区...该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。
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一种夹具系统以及固定靶材组件的方法,其中方法包括:提供靶材组件;提供夹具系统,夹具系统包括:基底,基底包括核心区域和核心区域周围的边缘区域;固定于边缘区域的自动压板夹;自动压板夹包括:压杆,压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端;固定于边缘区...