夹具系统以及固定靶材组件的方法技术方案

一种夹具系统以及固定靶材组件的方法，其中方法包括：提供靶材组件；提供夹具系统，夹具系统包括：基底，基底包括核心区域和核心区域周围的边缘区域；固定于边缘区域的自动压板夹；自动压板夹包括：压杆，压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端；固定于边缘区域的活塞装置，活塞装置与第二压杆端可活动连接，活塞装置用于通过控制第一压杆端以活塞装置和第二压杆端的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至基底的距离，以使第一压杆端能朝向核心区域和远离核心区域运动；将靶材组件置于核心区域上；之后采用活塞装置控制第一压杆端朝向核心区域运动并施压于靶材组件。所述方法能够提高工艺质量和工艺效率。

【技术实现步骤摘要】
夹具系统以及固定靶材组件的方法
本专利技术涉及靶材组件加工领域，尤其涉及一种夹具系统以及固定靶材组件的方法。
技术介绍
靶材组件包括靶材、以及与靶材结合并具有一定结合强度的背板。背板在所述靶材组件装配至溅射基台中起到支撑作用，并具有传导热量的功效。为了实现将所述靶材组件安装在溅射基台的目的，通常在背板的底部安装有连接部件，采用连接部件将背板和溅射基台相互连接并相互固定。在背板的底部安装连接部件的过程中，需要将靶材组件固定。然而，现有技术中固定靶材组件的工艺质量较差且工艺效率较低。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种夹具系统以及固定靶材组件的方法，以提高工艺质量和工艺效率。为解决上述问题，本专利技术提供一种固定靶材组件的方法，包括：提供靶材组件；提供夹具系统，所述夹具系统包括：基底，基底包括核心区域和位于核心区域周围的边缘区域；固定于边缘区域的自动压板夹；所述自动压板夹包括：压杆，压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端；固定于边缘区域的活塞装置，活塞装置与第二压杆端可活动连接，所述活塞装置用于通过控制第一压杆端以活塞装置和第二压杆端的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至基底的距离本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种固定靶材组件的方法，其特征在于，包括：提供靶材组件；提供夹具系统，所述夹具系统包括：基底，基底包括核心区域和位于核心区域周围的边缘区域；固定于边缘区域的自动压板夹；所述自动压板夹包括：压杆，压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端；固定于边缘区域的活塞装置，活塞装置与第二压杆端可活动连接，所述活塞装置用于通过控制第一压杆端以活塞装置和第二压杆端的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至基底的距离，以使第一压杆端朝向核心区域和远离核心区域运动；将靶材组件置于核心区域上，且靶材组件和自动压板夹位于基底的同一侧；将靶材组件置于核心区域上后，采用活塞装置控制第一压杆端朝向核心区域运动并施压于靶材组件...

【技术特征摘要】
1.一种固定靶材组件的方法，其特征在于，包括：提供靶材组件；提供夹具系统，所述夹具系统包括：基底，基底包括核心区域和位于核心区域周围的边缘区域；固定于边缘区域的自动压板夹；所述自动压板夹包括：压杆，压杆具有相对的第一压杆端和第二压杆端；固定于边缘区域的活塞装置，活塞装置与第二压杆端可活动连接，所述活塞装置用于通过控制第一压杆端以活塞装置和第二压杆端的连接处为中心进行转动而调节第一压杆端至基底的距离，以使第一压杆端朝向核心区域和远离核心区域运动；将靶材组件置于核心区域上，且靶材组件和自动压板夹位于基底的同一侧；将靶材组件置于核心区域上后，采用活塞装置控制第一压杆端朝向核心区域运动并施压于靶材组件。2.根据权利要求1所述的固定靶材组件的方法，其特征在于，所述活塞装置包括外腔体和活塞结构；所述外腔体具有相对的第一外腔板和第二外腔板、以及位于第一外腔板和第二外腔板之间的外腔壁板，第一外腔板和边缘区域接触；所述活塞结构贯穿第二外腔板，活塞结构具有相对的第一塞端和第二塞端，第一塞端位于外腔体中，第一塞端的侧壁与外腔壁板接触，第一塞端和第一外腔板之间具有充气槽，第二塞端位于外腔体的外部。3.根据权利要求2所述的固定靶材组件的方法，其特征在于，所述活塞装置还包括第一连接杆，所述第一连接杆具有相对的第一连接端和第二连接端，第一连接端和第二塞端固定，第二连接端和第二压杆端可活动连接。4.根据权利要求2所述的固定靶材组件的方法，其特征在于，所述活塞装置还包括位于外腔体内部的内腔体，所述内腔体具有相对的第一内腔板和第二内腔板、以及位于第一内腔板和第二内腔板之间的内腔壁板，第一内腔板和第一外腔板相对，第二内腔板和第二外腔板相对；所述活塞结构包括第一活塞和第二活塞，第一活塞贯穿第一内腔板，第二活塞贯穿第二内腔板和第二外腔板；第一活塞具有相对的第一塞端和第三塞端，第一塞端位于外腔体中且位于内腔体外，第三塞端位于内腔体中，第三塞端的侧壁与内腔体接触；第二活塞具有相对的第二塞端和第四塞端，第四塞端位于内腔体中，第四塞端的侧壁与内腔体接触，第四塞端和第三塞端之间具有缓冲槽。5.根据权利要求2所述的固定靶材组件的方法，其特征在于，所述压杆还包括位于第一压杆端和第二压杆端之间的中间压杆部；所述活塞装置还包括第二连接杆和支撑杆，在自边缘区域至核心区域的方向上，第二连接杆到核心区域之间的距离小于第二塞端到核心区域之间的距离；所述第二连接杆具有相对的第三连接端和第四连接端，第三连接端与第二外腔板固定；所述支撑杆具有相对的第一支撑端和第二支撑端，第一支撑端和第四连接端可活动连接，第二支撑端和中间压杆部可活动连接。6.根据权利要求2所述的固定靶材组件的方法，其特征在于，所述夹具系统还包括气泵装置，所述气泵装置包括气泵和导气管，导气管具有相对的第一导气端和第二导气端，第一导气端和气泵连接，第二导气端与外腔体连接且与充气槽连通。7.根据权利要求6所述的固定靶材组件的方法，其特征在于，所述气泵装置通过导气管给充气槽中导入气体并推动活塞结构远离第一外腔板运动，以使第一压杆端能朝向核心区域运动；所述气泵装置还通过导气管从充气槽中导出气体并推动活塞结构朝向第一外腔板运动，以使第一压杆端能远离核心区域运动。8.根据权利要求1所述的固定靶材组件的方法，其特征在于，所述夹具系统还包括分别固定于核心区域的若干基准等高块，所述基准等高块和所述自动压板夹位于基底的同一侧；将所述靶材组件置于核心区域上的步骤包括：将所述靶材组件置于若干基准等高块的顶部表面。9.根据权利要求1所述的固定靶材组件的方法，其特征在于，所述靶材组件具有相对的溅射面和组件底面；将靶材组件置于核心区域上后，溅射面...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，相原俊夫，王学泽，罗明浩，吕培聪，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33