下载芯片及键合垫的形成方法的技术资料

文档序号:19431187

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本发明提供了一种芯片及键合垫的形成方法,所述键合垫的形成方法包括:形成一内层金属层于一衬底上;形成一图案化的第一钝化层于所述内层金属层上,所述图案化的第一钝化层暴露出所述内层金属层的部分;形成一键合垫于所述图案化的第一钝化层上,所述键合垫与...
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