下载一种用于真空磁控溅射类纯金色金合金靶材及其制备方法的技术资料

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本发明一种用于真空磁控溅射类纯金色金合金靶材及其制备方法,该金合金靶材按照质量百分比的化学组成为Au97.0~99%,Cu0.5~1.7%,Zn0.4~1.0%,Ag0.05~0.2%,Nd0.03~0.05%,Si0.02~0.05%。制...
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