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本发明属于真空蒸发镀膜蒸发料技术领域,尤其涉及一种钛蒸发料的制备方法和钛蒸发料,其制备方法包括如下步骤:(a)对原料钛进行预处理;(b)将预处理后的钛在清洗油中超声波振荡10‑20min;然后在蒸汽干燥系统中超声波振荡5‑15min;再酸洗...该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明属于真空蒸发镀膜蒸发料技术领域,尤其涉及一种钛蒸发料的制备方法和钛蒸发料,其制备方法包括如下步骤:(a)对原料钛进行预处理;(b)将预处理后的钛在清洗油中超声波振荡10‑20min;然后在蒸汽干燥系统中超声波振荡5‑15min;再酸洗...