钛蒸发料的制备方法和钛蒸发料技术

本发明专利技术属于真空蒸发镀膜蒸发料技术领域，尤其涉及一种钛蒸发料的制备方法和钛蒸发料，其制备方法包括如下步骤：(a)对原料钛进行预处理；(b)将预处理后的钛在清洗油中超声波振荡10‑20min；然后在蒸汽干燥系统中超声波振荡5‑15min；再酸洗3‑6min；然后在水中超声波振荡5‑10min；再进行干燥；(c)将步骤(b)得到的钛放入离心研磨机中，加入清洁剂和水进行离心研磨；所述清洁剂用量为30‑50mL，研磨转速为180‑200r/min，研磨时间为10‑20min；(d)对步骤(c)得到的钛进行后处理，得到钛蒸发料。该制备方法流程简单易工业化，易于生产管控，制备出的钛蒸发料具有较高的洁净度和纯度，钛含量为99.999％‑99.9999％，产品合格率为50％‑60％。

Preparation method of titanium evaporating material and titanium evaporating material

The invention belongs to the technical field of vacuum evaporation coating evaporator, in particular to a preparation method of titanium evaporator and titanium evaporator. The preparation method comprises the following steps: (a) pretreatment of raw titanium; (b) ultrasonic oscillation of pretreated titanium in cleaning oil for 10 to 20 minutes; and then ultrasonic vibration in steam drying system. Swing for 5 to 15 minutes, pickling for 3 to 6 minutes, then ultrasonic oscillation for 5 to 10 minutes in water, then drying; (c) Put the titanium obtained in step (b) into the centrifugal grinding machine and add detergent and water for centrifugal grinding; the amount of the detergent is 30 to 50 mL, the grinding speed is 180 to 200 r/min, and the grinding time is 10 to 20 minutes; (d) Put the steps into the centrifugal grinding machine. (c) titanium obtained after treatment was obtained with titanium evaporated material. The preparation process is simple, industrialized and easy to control. The prepared titanium evaporator has high cleanliness and purity. The content of titanium is 99.999%99.9999%, and the qualified rate of the product is 50%60%.

【技术实现步骤摘要】
钛蒸发料的制备方法和钛蒸发料
本专利技术涉及真空蒸发镀膜蒸发料
，尤其是涉及一种钛蒸发料的制备方法和钛蒸发料。
技术介绍
半导体集成电路用真空镀膜材料是晶圆背金工艺不可或缺的原料，而钛蒸发料为半导体电子器件制造中重要的配套材料，随着我国集成电路产业的快速发展，此种蒸发镀膜材料的消耗量逐年增加，市场广阔。由于集成电路的集成度越来越高，互联线宽度不断减小，钛的纯度和杂质含量直接影响着电子薄膜的性能，因此，对于钛蒸发料需要在使用中确保蒸发料的高纯度及洁净度。目前通过现有技术制备的钛蒸发料纯度不高，洁净度较差，气体杂质元素含量较高，产品表面经常会有飞边、毛刺、裂纹、油污、锈蚀和颗粒附加物等缺陷，导致产品合格率较低，并且目前钛蒸发料的制造流程也较为复杂。鉴于此，特提出本专利技术。
技术实现思路
本专利技术的第一个目的是提供一种钛蒸发料的制备方法，以缓解现有技术中存在的钛蒸发料纯度及洁净度不高，制造流程复杂，产品合格率低的技术问题。该制备方法流程简单易工业化，易于生产管控。本专利技术的第二个目的是提供一种钛蒸发料，该钛蒸发料由上述制备方法制得，其表面光亮平整、洁净、边角完整，且纯度较高，钛含量本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钛蒸发料的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：(a)对原料钛进行预处理；(b)将预处理后的钛在清洗油中超声波振荡10‑20min；然后在蒸汽干燥系统中超声波振荡5‑15min；再酸洗3‑6min；然后在水中超声波振荡5‑10min；再进行干燥；(c)将步骤(b)得到的钛放入离心研磨机中，加入清洁剂和水进行离心研磨；所述清洁剂用量为30‑50mL，研磨转速为180‑200r/min，研磨时间为10‑20min；(d)对步骤(c)得到的钛进行后处理，得到钛蒸发料。

【技术特征摘要】
1.一种钛蒸发料的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：(a)对原料钛进行预处理；(b)将预处理后的钛在清洗油中超声波振荡10-20min；然后在蒸汽干燥系统中超声波振荡5-15min；再酸洗3-6min；然后在水中超声波振荡5-10min；再进行干燥；(c)将步骤(b)得到的钛放入离心研磨机中，加入清洁剂和水进行离心研磨；所述清洁剂用量为30-50mL，研磨转速为180-200r/min，研磨时间为10-20min；(d)对步骤(c)得到的钛进行后处理，得到钛蒸发料。2.根据权利要求1所述的钛蒸发料的制备方法，其特征在于，所述步骤(b)中，预处理后的钛在清洗油中超声波振荡12-15min；在蒸汽干燥系统中超声波振荡8-12min；再酸洗4-5min；最后在水中超声波振荡6-8min；然后进行干燥；优选地，清洗油为柴油、煤油或汽油中的至少一种；优选地，酸洗所采用的酸为硫酸、盐酸、磷酸、硝酸、铬酸或氢氟酸中的至少一种；优选地，采用气枪吹干方式进行干燥。3.根据权利要求1所述的钛蒸发料的制备方法，其特征在于，步骤(c)中，清洁剂用量为35-40mL，研磨转速为185-190r/min，研磨时间为14-16min。4.根据权利要求1-3任一项所述的钛蒸发料的制备方法，其特征在于，所述预处理包括下料、锻打、铣表面、热轧、退火热处理、分切、压延、表面抛光和冲压落料。5.根据权利要求4所述的钛蒸发料的制备方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，杨恕鉴，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33