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本发明提供的流体通断机构及半导体加工设备，其包括固定组件、可移动地安装在固定组件中的多个调节针、连接组件和调节螺钉，其中，调节螺钉采用第一连接方式或者第二连接方式将连接组件与固定组件连接在一起，其中，第一连接方式满足：通过旋紧调节螺钉，使连...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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