流体通断机构及半导体加工设备制造技术

本发明专利技术提供的流体通断机构及半导体加工设备，其包括固定组件、可移动地安装在固定组件中的多个调节针、连接组件和调节螺钉，其中，调节螺钉采用第一连接方式或者第二连接方式将连接组件与固定组件连接在一起，其中，第一连接方式满足：通过旋紧调节螺钉，使连接组件朝向远离固定组件的方向移动，同时连接组件驱动至少一个指定的调节针移出与该调节针相对应的流路；第二连接方式满足：通过旋紧所述调节螺钉，使连接组件朝向靠近固定组件的方向移动，同时连接组件驱动至少一个指定的调节针移入与该调节针相对应的流路。本发明专利技术提供的流体通断机构，其给操作人员操作带来方便，从而可以提高工作效率。

Fluid breaking mechanism and semiconductor processing equipment

The fluid on-off mechanism and semiconductor processing equipment provided by the invention include a fixed component, a plurality of adjusting needles movably installed in the fixed component, a connecting component and a adjusting screw, in which the adjusting screw connects the connecting component with the fixed component by a first connection mode or a second connection mode, in which the adjusting screw connects the connecting component with the fixed component. The first connection mode satisfies: by tightening the adjusting screw, the connecting component moves away from the fixed component, while the connecting component drives at least one designated adjusting needle to move out of the flow path corresponding to the adjusting needle; the second connection mode satisfies: by tightening the adjusting screw, the connecting component moves closer to the fixed component. The fixed component moves in the direction while the connecting component drives at least one designated adjusting needle to move into the flow path corresponding to the adjusting needle. The fluid on-off mechanism provided by the invention brings convenience to the operation of the operator, thereby improving the working efficiency.

【技术实现步骤摘要】
流体通断机构及半导体加工设备
本专利技术涉及流体控制
，具体地，涉及一种流体通断机构及半导体加工设备。
技术介绍
外延生长工艺必须处于一个严格密封的空间之中，有些微的泄漏都将导致空气或水汽进入腔室，从而影响外延片的生长，降低成片质量，更严重会造成腔室炸裂，造成极大的经济损失和人员伤亡。在外延设备中，为了控制外延生长厚度、电阻率等指标，需要改变整个腔室的气流场分布。为此，通常采用对称分布的多条气路向腔室中输送工艺气体，并通过接通或断开不同气路来达到控制气流场的目的。图1为现有的流体通断机构的结构图。图2为图1中的A区域的局部放大图。如图1和图2所示，流体通断机构包括与16条气路(图中未示出)相对应的16个调节针1，以及相互对接的上固定板2和下固定板3，其中，通过下压或上提至少一个指定的调节针1，来断开或接通与该指定的调节针1相对应的气路。上固定板2和下固定板3位于16条气路的上方，且在上固定板2和下固定板3中对应地分别设置有16个通孔，各个调节针1一一对应地设置在各个通孔中，且能够上下移动。并且，在上固定板2和下固定板3的对接面中的其中一个对接面上，且与各个通孔一一对应地位置处设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体通断机构，包括固定组件和可移动地安装在所述固定组件中的多个调节针，通过将指定的至少一个所述调节针移入或移出与该调节针相对应的流路，来接通或断开该流路，其特征在于，还包括连接组件和调节螺钉，所述调节螺钉采用第一连接方式或者第二连接方式将所述连接组件与所述固定组件连接在一起，其中，所述第一连接方式满足：通过旋紧所述调节螺钉，使所述连接组件朝向远离所述固定组件的方向移动，同时所述连接组件驱动至少一个指定的所述调节针移出与该调节针相对应的流路；所述第二连接方式满足：通过旋紧所述调节螺钉，使所述连接组件朝向靠近所述固定组件的方向移动，同时所述连接组件驱动至少一个指定的所述调节针移入与该调节针...

【技术特征摘要】
1.一种流体通断机构，包括固定组件和可移动地安装在所述固定组件中的多个调节针，通过将指定的至少一个所述调节针移入或移出与该调节针相对应的流路，来接通或断开该流路，其特征在于，还包括连接组件和调节螺钉，所述调节螺钉采用第一连接方式或者第二连接方式将所述连接组件与所述固定组件连接在一起，其中，所述第一连接方式满足：通过旋紧所述调节螺钉，使所述连接组件朝向远离所述固定组件的方向移动，同时所述连接组件驱动至少一个指定的所述调节针移出与该调节针相对应的流路；所述第二连接方式满足：通过旋紧所述调节螺钉，使所述连接组件朝向靠近所述固定组件的方向移动，同时所述连接组件驱动至少一个指定的所述调节针移入与该调节针相对应的流路。2.根据权利要求1所述的流体通断机构，其特征在于，所述连接组件包括连接部件和阻挡部件，其中，在所述连接部件上设置有多个第一通孔，各个所述调节针一一对应地穿过各个所述第一通孔，并且在每个所述调节针的远离与其对应的所述流路的一端设置有盖帽，所述第一通孔的直径大于所述盖帽的直径；在所述连接部件上设置有贯穿其厚度的第一螺纹孔，所述调节螺钉在采用所述第一连接方式时，旋入所述第一螺纹孔中，并且所述调节螺钉的一端顶住所述固定组件；在所述连接部件上还设置有第二通孔，并且对应地在所述固定组件上设置有第二螺纹孔，所述调节螺钉在采用所述第二连接方式时，穿过所述第二通孔，并旋入所述第二螺纹孔；所述第二通孔的直径小于所述调节螺钉的头部外径；所述阻挡部件可拆卸地固定在所述连接部件的与所述盖帽相对的表面上，用于阻挡指定的所述调节针的所述盖帽，以使其能够随所述连接部件一起移动。3.根据权利要求2所述的流体通断机构，其特征在于，所述阻挡部件包括片状本体，在所述片状本...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎俊希，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11