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本发明提供一种具有能够配置在小的空间中的多个线圈的滤波器装置和等离子体处理装置。滤波器装置具备多个线圈和多个电容器。多个线圈构成多个线圈组。多个线圈组各自包括两个以上的线圈。在多个线圈组的各个线圈组中，两个以上的线圈设置为：各个线圈的卷绕部...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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