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本发明公开了一种划片区内的监控图形的排布方法，采用于晶圆版图芯片区域内设置一监控区域并对芯片区域及划片区预先填充冗余图形，于所述晶圆版图中的所述芯片区域之间的划片区获取多个监控图形的中心位置及影响区域，获得每一所述影响区域内的所有的所述图形...
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