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半导体激光器装置制造方法及图纸
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文档序号:19247981
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半导体激光器装置具有有源层、第一层和表面金属膜。上述有源层层叠有多个量子阱层,能够通过子带间跃迁射出太赫兹波的激光。上述第一层设置在上述有源层之上,具有第一面,该第一面上以构成二维的栅格的方式设置有多个凹坑。上述表面金属膜设置在上述第一层之...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。
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