温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及光半导体装置的制造方法。光半导体装置(1)的制造方法具备：准备具有多个光电转换部的半导体基板、以将多个光电转换部的各个互相隔开的方式将沟槽形成于半导体基板、由气相生长法将硼层形成于沟槽的内面、通过对硼层施以热扩散处理从而沿着沟槽的...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。