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本发明涉及金属污染防止方法和成膜装置，能够防止在清洁成膜装置时发生的金属污染。金属污染防止方法，在成膜处理中使用的处理室的干式清洁后且成膜开始前进行，该金属污染防止方法包括：温度变更步骤，将所述处理室内从干式清洁时的温度变更为规定的成膜温度...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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