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本实用新型公开了一种光束扫描装置，包括：MEMS扫描镜，所述MEMS扫描镜具有两个转动轴和一个反射镜，反射镜能够绕着两个转动轴同时转动；驱动控制系统，所述驱动系统提供MEMS扫描镜两个转动轴的驱动信号，实现改进的光栅扫描。本实用新型具有体积...
该专利属于上海禾赛光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海禾赛光电科技有限公司授权不得商用。

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