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一种半纵向型欧姆接触电极及其制作方法，属于半导体器件制作领域。技术要点是：包括半导体和金属电极，所述金属电极制作在所述半导体上，所述金属电极在纵向上呈台阶型。有益效果是:本发明所述的半纵向型欧姆接触电极及其制作方法增加了金属与半导体之间的有...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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