下载一种调控钕钡铜氧薄膜取向的方法的技术资料

文档序号:19191613

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本发明公开了一种调控钕钡铜氧薄膜取向的方法,在传统金属有机物化学气相沉积技术的基础上,进一步引入高能量密度的连续激光,可降低化学反应活化势垒,加快反应速率,并同时保证沉积区域辐射场均匀稳定分布,因此制备的薄膜结构连续均匀,面内排布有序;本发...
该专利属于武汉理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉理工大学授权不得商用。

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