下载研磨机台及研磨方法的技术资料

文档序号:19179764

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明实施例提供一种研磨机台及研磨方法。所述研磨机台包括:研磨头;设置在所述研磨头下方的研磨台;放置在所述研磨台上的研磨垫;以及所述研磨垫上设置有沟槽。...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。