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研磨机台及研磨方法技术
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文档序号:19179764
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本发明实施例提供一种研磨机台及研磨方法。所述研磨机台包括:研磨头;设置在所述研磨头下方的研磨台;放置在所述研磨台上的研磨垫;以及所述研磨垫上设置有沟槽。...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。
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