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本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种颗粒物检测装置及颗粒物检测方法。所述颗粒物检测装置，包括：颗粒物分析仪，用于分析气体中的颗粒物信息；采样管道，包括相对设置的第一端和第二端；所述第一端用于与半导体处理腔室的排气口连通，所述第二端用于...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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