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提供一种减轻对机构部的负担来使可靠性提高的检流计扫描器。检流计扫描器(50)将加工对象(W)的加工位置指令变换为向旋转电动机(53、54)和直线运动机构(56)的移动指令。另外，在向直线运动机构(56)的移动指令中包含依赖于向旋转电动机(5...
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