检流计扫描器制造技术

提供一种减轻对机构部的负担来使可靠性提高的检流计扫描器。检流计扫描器(50)将加工对象(W)的加工位置指令变换为向旋转电动机(53、54)和直线运动机构(56)的移动指令。另外，在向直线运动机构(56)的移动指令中包含依赖于向旋转电动机(53、54)的移动指令并为规定振幅以下的振幅范围内且规定频率以上的频率范围内的微弱直线运动分量的情况下，在将该微弱直线运动分量从向直线运动机构(56)的移动指令中去除的基础上，输出与向旋转电动机(53、54)和直线运动机构(56)的移动指令对应的控制信号。并且，基于该控制信号来控制旋转电动机(53、54)和直线运动机构(56)。

galvanometer scanner

A galvanometer scanner is provided to reduce the burden on the mechanism to enhance reliability. The galvanometer scanner (50) converts the machining position instruction of the machining object (W) into the movement instruction of the rotary motor (53, 54) and the linear motion mechanism (56). In addition, in the case that the moving instruction to the linear motion mechanism (56) includes a moving instruction depending on the rotary motor (53, 54) and a weak linear motion component in the amplitude range below the specified amplitude and in the frequency range above the specified frequency, the weak linear motion component is driven from the linear motion mechanism (56). On the basis of removal from the movement instruction, the control signal corresponding to the movement instruction of the rotary motor (53, 54) and the linear motion mechanism (56) is output. Moreover, the rotary motor (53, 54) and the linear motion mechanism (56) are controlled based on the control signal.

【技术实现步骤摘要】
检流计扫描器
本专利技术涉及一种检流计扫描器(galvanoscanner)。
技术介绍
以往，已知一种在多轴机器人的臂的顶端具备具有检流计扫描器的激光头的激光焊接装置。在此，检流计扫描器是指如下装置：具备能够分别绕相互正交的两个旋转轴(X轴、Y轴)旋转的两个反射镜，利用伺服电动机对这些反射镜进行旋转驱动，由此使从激光光源射出的激光进行扫描(例如，参照专利文献1)。在这样的激光焊接装置中，例如在如摆动焊接(weavingwelding)、摇动焊接(wobblingwelding)那样在X方向、Y方向的微小范围内一边使点以高速周期且以闪电形(锯齿)往复移动一边进行焊接的情况下，对于校正激光的焦点的偏移(光轴方向的偏移)以提高激光的能量密度而言，一般来说，以追踪X方向、Y方向的移动来沿激光的光轴方向驱动Z方向的透镜的方式进行控制。专利文献1：日本特开2003-43404号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，一般来说，对于只驱动反射镜的X轴、Y轴，惯性(Inertia)小，因此响应性高。与此相对，对于必须驱动透镜的Z轴，惯性大，因此响应性低。因而，虽然是X轴、Y轴能够追踪的高速周期，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检流计扫描器，具有：反射镜，其用于反射从激光光源射出的激光；旋转电动机，其对所述反射镜进行旋转驱动；透镜，其能够沿从所述激光光源射出的激光的光轴方向移动；以及直线运动机构，其对所述透镜进行驱动，所述检流计扫描器通过所述反射镜来反射从所述激光光源射出的激光，并且使该激光透过所述透镜，由此使激光对加工对象进行扫描，所述检流计扫描器具备：变换部，其将所述加工对象的加工位置指令变换为向所述旋转电动机和所述直线运动机构的移动指令；控制滤波部，在向所述直线运动机构的移动指令中包含依赖于向所述旋转电动机的移动指令并为规定振幅以下的振幅范围内且规定频率以上的频率范围内的微弱直线运动分量的情况下，该控制...

【技术特征摘要】
2017.03.23 JP 2017-0570311.一种检流计扫描器，具有：反射镜，其用于反射从激光光源射出的激光；旋转电动机，其对所述反射镜进行旋转驱动；透镜，其能够沿从所述激光光源射出的激光的光轴方向移动；以及直线运动机构，其对所述透镜进行驱动，所述检流计扫描器通过所述反射镜来反射从所述激光光源射出的激光，并且使该激光透过所述透镜，由此使激光对加工对象进行扫描，所述检流计扫描器具备：变换部，其将所述加工对象的加工位置指令变换为向所述旋转电动机和所述直线运动机构的移动指令；控制滤波部，在向所述直线运动机构的移动指令中包含依赖于向所述旋转电动机的移动指令并为规定振幅以下的振幅范围内且规定频率以上的频率范围内的微弱直线运动分量的情况下，该控制滤波部在将该微弱直线运动分量从向所述直线运动机构的移动指令中去除的基础上，输出与向所述旋转电动机...

【专利技术属性】
技术研发人员：村上贵视，川合晓，
申请(专利权)人：发那科株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP