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一种用于检测太阳能晶片的倒角边缘处的豁口缺陷的豁口缺陷检测系统，所述太阳能晶片是具有笔直边缘和倒角边缘的实质上矩形或方形的形状，所述豁口缺陷检测系统包括：(a)多个成像装置，所述多个成像装置用于拾取所述太阳能晶片的位置的图像并且与所述太阳能...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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