【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检测太阳能晶片上的豁口的方法和系统
本专利技术涉及一种检测太阳能晶片倒角侧壁上的豁口(chipping)的系统和方法,更具体地涉及适于检测太阳能晶片的任何边缘上可能引起裂纹和晶片破损的豁口的豁口检测系统和方法。
技术介绍
作为太阳能电池制造工艺的部分,太阳能电池制造商常常执行对太阳能晶片的检测。这是为了确保在开始阶段中识别太阳能晶片上的任何缺陷并且后续生产的太阳能晶片是高质量的。太阳能晶片是常用于制造太阳能电池的极薄的硅晶片。在太阳能电池的制造中,太阳能晶片经历许多工艺,诸如沉积、蚀刻和图案化等,从而在太阳能电池在制造工艺期间变成功能性太阳能电池之前充当太阳能电池的基板。由于太阳能晶片的脆性性质,当在太阳能电池的制造中使用时,太阳能晶片的任何边缘上的非常小的豁口都可能会引起裂纹并最终地引起晶片破损。因此,为了提高生产良率并保持生产成本低,从制造工艺开始就维持太阳能晶片的质量极其关键。沿着太阳能晶片的笔直边缘和倒角边缘在顶表面和/或底表面上可能出现豁口缺陷(如图1所示)。可通过使用直接观察太阳能晶片的顶表面和底表面的两个照相机来检测此类型的豁口,并且在晶片移动时拍摄 ...
【技术保护点】
1.一种用于检测太阳能晶片的倒角边缘处的豁口缺陷的豁口缺陷检测系统,所述太阳能晶片是具有笔直边缘和倒角边缘的实质上矩形或方形的形状,所述豁口缺陷检测系统包括:(a)多个成像装置,所述多个成像装置用于拾取所述太阳能晶片的位置的图像并且与所述太阳能晶片的聚焦平面水平地定位;(b)多个照明装置,所述多个照明装置用于当所述成像装置在操作中时为所述成像装置提供光;(c)传送带,所述传送带用于在豁口检测操作过程中水平地运输所述太阳能晶片;(d)感测装置,所述感测装置提供信号以触发所述成像装置来开始图像捕获;和(e)频闪灯驱动器,所述频闪灯驱动器由所述成像装置触发以驱动所述照明装置,使得 ...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.10.26 SG 10201508830P1.一种用于检测太阳能晶片的倒角边缘处的豁口缺陷的豁口缺陷检测系统,所述太阳能晶片是具有笔直边缘和倒角边缘的实质上矩形或方形的形状,所述豁口缺陷检测系统包括:(a)多个成像装置,所述多个成像装置用于拾取所述太阳能晶片的位置的图像并且与所述太阳能晶片的聚焦平面水平地定位;(b)多个照明装置,所述多个照明装置用于当所述成像装置在操作中时为所述成像装置提供光;(c)传送带,所述传送带用于在豁口检测操作过程中水平地运输所述太阳能晶片;(d)感测装置,所述感测装置提供信号以触发所述成像装置来开始图像捕获;和(e)频闪灯驱动器,所述频闪灯驱动器由所述成像装置触发以驱动所述照明装置,使得所述成像装置提供与所述照明装置一致的曝光时间,由此所述倒角边缘位于处在正由所述感测装置感测的相同位置处的失焦位置处,并且由所述成像装置捕获的图像不清晰是在所述太阳能晶片的所述倒角边缘上有豁口。2.如权利要求1所述的用于检测豁口缺陷的豁口缺陷检测系统,其中所述成像装置水平地定位并定向成使其照相机聚焦平面平行于所述太阳能晶片的每个倒角边缘并与之重合。3.如权利要求1所述的用于检测豁口缺陷的豁口缺陷检测系统,进一步包括具有存储器存储装置的计算机系统。4.如权利要求1所述的用于检测豁口缺陷的豁口缺陷检测系统,其中倒角侧壁的清晰图像通过所述成像装置获得。5.如权利要求1所述的用于检测豁口缺陷的豁口缺陷检测系统,其中所述感测装置触发所述成像装置沿着太阳能晶片的所述倒角边缘拍摄图像。6.如权利要求1所述的用于检测豁口缺陷的豁口缺陷检测系统,其中所述成像装置在所述太阳能晶片以一定速度移动时以固定的每秒帧数(FPS)在突发模式下捕获图像。7.如权利要求1所述的用于检测豁口缺陷的豁口缺陷检测系统,其中当所述成像装置开始突发模式图像捕获时,所述倒角边缘并不定位在照相机聚焦平面处。8.如权利要求7所述的用于检测豁口缺陷的豁口缺陷检测系统,其中在突发模式下捕获到的所述太阳能晶片位置高达数量N。9.如权利要求7所述的用于检测豁口缺陷的豁口缺陷检测系统,其中在时间间...
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