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本发明涉及一种用于制造柔性基底多层薄膜的卷绕镀膜系统。多个镀膜室与多个镀膜辊一一对应地设置，每个镀膜室包括一个或多个溅射单元，每个溅射单元包括升降装置、连接于升降装置的磁控溅射靶以及两个靶挡板，两个靶挡板位于磁控溅射靶和镀膜辊之间且间隔以形...
该专利属于东北大学所有，仅供学习研究参考，未经过东北大学授权不得商用。

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