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一种晶圆级系统封装方法及封装结构,封装方法包括:提供器件晶圆,包括器件区以及环绕器件区的切割道区,器件区的器件晶圆中集成有第一芯片,器件区的器件晶圆正面粘贴有第二芯片;刻蚀切割道区的正面,在器件晶圆内形成沟槽,沟槽至少延伸至第一芯片背向正面...该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯集成电路(宁波)有限公司授权不得商用。
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一种晶圆级系统封装方法及封装结构,封装方法包括:提供器件晶圆,包括器件区以及环绕器件区的切割道区,器件区的器件晶圆中集成有第一芯片,器件区的器件晶圆正面粘贴有第二芯片;刻蚀切割道区的正面,在器件晶圆内形成沟槽,沟槽至少延伸至第一芯片背向正面...