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本发明提供一种半导体装置及其制造方法。当在电路区域中形成在比元件分离用的槽深的槽内形成且将布线与半导体基板电连接的基板接触插塞的情况下，防止由于基板接触开口率不足引起的基板接触插塞的电阻值的增大。将连接到布线(M1)和半导体基板(SB)并且...
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