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本发明提供一种进气机构及反应腔室，该进气机构用于向反应腔室内输送气体，且包括进气口及气路组件，其中，进气口设置在反应腔室的腔室壁上；气路组件设置在进气口中形成非直线气路。本发明提供的进气机构，其与现有技术中采用直通孔结构相比，不仅可以在相同...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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