下载一种铜金属互连电迁移测试结构及其测试方法的技术资料

文档序号:19025232

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本发明公开了一种铜金属互连电迁移测试结构,包括一金属线,水平设置,包括;多个上层金属层,水平设置于所述金属线的上层;多个下层金属层,水平设置于所述金属线的下层;多个上层金属层连接通孔,分别连接所述上层金属层和金属线;多个下层金属层连接通孔,...
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