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喷淋板、处理装置和喷出方法制造方法及图纸
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下载喷淋板、处理装置和喷出方法的技术资料
文档序号:19019092
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根据实施方式,喷淋板包括第一构件和第二构件。所述第一构件包括设置有多个第一开口的第一壁并且在内部包括与所述第一开口连通的室。所述第二构件包括设置有第二开口并被布置在所述室中的第二壁。所述第二构件被布置在与所述第一构件间隔开的位置,并且通过改...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。
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