下载压电声波器件的封装方法及封装结构的技术资料

文档序号:18898623

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本发明提供了一种压电声波器件的封装方法,该封装方法包括:提供裸芯片,该裸芯片的表面设置有多个金属端口,该多个金属端口分布在裸芯片的有效活动区的外侧;在裸芯片的表面上形成环绕有效活动区的密封墙;在裸芯片的多个金属端口上形成导电凸起块;提供基板...
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