温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供了一种压电声波器件的封装方法,该封装方法包括:提供裸芯片,该裸芯片的表面设置有多个金属端口,该多个金属端口分布在裸芯片的有效活动区的外侧;在裸芯片的表面上形成环绕有效活动区的密封墙;在裸芯片的多个金属端口上形成导电凸起块;提供基板...该专利属于贵州中科汉天下微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过贵州中科汉天下微电子有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供了一种压电声波器件的封装方法,该封装方法包括:提供裸芯片,该裸芯片的表面设置有多个金属端口,该多个金属端口分布在裸芯片的有效活动区的外侧;在裸芯片的表面上形成环绕有效活动区的密封墙;在裸芯片的多个金属端口上形成导电凸起块;提供基板...