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本发明涉及一种p‑GaN基增强型HEMT器件,包括:衬底;在所述衬底上的过渡层;在所述过渡层上的沟道层;在所述沟道层上的势垒层;在所述势垒层上的p‑GaN层;以及,在所述势垒层和所述p‑GaN层上的源极、漏极、栅极和介质层;所述势垒层包括势...该专利属于英诺赛科(珠海)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英诺赛科(珠海)科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种p‑GaN基增强型HEMT器件,包括:衬底;在所述衬底上的过渡层;在所述过渡层上的沟道层;在所述沟道层上的势垒层;在所述势垒层上的p‑GaN层;以及,在所述势垒层和所述p‑GaN层上的源极、漏极、栅极和介质层;所述势垒层包括势...